Soluciones de Vacío

EUV, desgasificación, tiempo de bombeo, estabilidad y perturbaciones magnéticas son los principales parámetros que se tienen en cuenta durante el diseño de un sistema de vacío. Esto se suma a todos los demás parámetros clave que son relevantes para una solución de movimiento perfecta para su exigente entorno y prestaciones.

Nuestros sistemas se desarrollan específicamente para poder funcionar a presiones parciales de hasta 10^9mbar mediante la integración de componentes específicos, desde motores lineales (incluido el blindaje específico) hasta unidades piezoeléctricas y cables especiales.

Todas las piezas mecanizadas pertinentes (aluminio y/o SUS) se fabrican internamente para mantener el nivel de limpieza y desgasificación perfectamente controlado.

Todos los sistemas de vacío se ensamblan, prueban y embalan en nuestra sala blanca, especialmente diseñada para satisfacer su ritmo de producción.

Especificaciones típicas de "Vacío" en POI*.

• Configuración: XYZ o + Z (pórtico)
• Recorrido: hasta 400 x 500 mm
• Precisión: ≤ 10 µm (sobre TIR, mapeado)
• Repetibilidad: ≤ 0,1 µm
• Estabilidad: ≤ 2 nm (dentro de 1s ptp)
• Movimiento y asentamiento: < 120 ms para 25 mm
• Velocidad Cst: < 0,01% a <100 mm/s
• Rectitud: < 5 µm en 300 mm
• Planitud < 20 µm sobre 300 mm
   

HVH Industrial trabaja con los equipos de ingeniería especializados de los fabricantes para cumplir con los requisitos y los más altos estándares de calidad de nuestros clientes. 

Si tiene alguna pregunta escríbanos a través del chat en vivo (uno de los miembros de nuestro equipo responderá a sus preguntas), llámenos o envíenos una solicitud de cotización. El equipo de HVH siempre está listo para ayudarle.

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